新型硅基MEMS集成光波导加速度传感器

• 作者: 朱长纯 李炳乾
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 光波导 加速度传感器 硅片
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN252

摘要

本文设计了一种新型硅基ＭＥＭＳ集成光强调制型光波导加速度传感器，在同一 集成了分束器、悬臂梁、质量块、光波导、光探测器等元件，解决了光纤传感器向微型化发展时遇到的装配困难及长期稳定性差等问题，讨论了利用现有工艺在硅基片上实现ＭＥＭＳ集成光波导加速度传感器的可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱长纯	西安交通大学电信学院电子工程系	215	2372	22.0	41.0
2	李炳乾	西安交通大学电信学院电子工程系	7	92	3.0	7.0