化合物半导体材料加工中的三废防治

• 作者: 杨钧
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 三废防治 GaAs GaP
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 429-433
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.008

摘要

讨论了GaAs与GaP的毒性、中毒症状和解毒方法, 比较了砷、磷的毒性异同, 提出了在GaAs与GaP材料加工过程中开展三废防治的设想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨钧		2	9	1.0	2.0