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家用冷暖空调及热水供应设计方案
需求
系统构成
设备选配
氮气辅助蒸汽吞吐技术研究与现场应用
氮气
蒸汽吞吐
稠油油藏
地层压力
生物质热解炭化反应设备研究进展
生物质
炭化
热解
窑炉
固定床
油气加工生产现场设备等电位连接技术
加工生产现场
等电位连接
S型
M型
应用
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 IC生产现场氮气供应设备
来源期刊 工厂动力 学科 工学
关键词 供氮 半导体产业 氮气供应设备 高纯度
年,卷(期) 1998,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 25-29
页数 9页 分类号 TQ116.15
字数 语种
DOI
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1998(0)
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研究主题发展历程
节点文献
供氮
半导体产业
氮气供应设备
高纯度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工厂动力
季刊
北京市海淀区万寿路27号中国电子工程设计
出版文献量(篇)
998
总下载数(次)
9
总被引数(次)
0
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