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IC生产现场氮气供应设备
IC生产现场氮气供应设备
作者:
田智坤
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供氮
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氮气供应设备
高纯度
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IC生产现场氮气供应设备
来源期刊
工厂动力
学科
工学
关键词
供氮
半导体产业
氮气供应设备
高纯度
年,卷(期)
1998,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
25-29
页数
9页
分类号
TQ116.15
字数
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DOI
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供氮
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氮气供应设备
高纯度
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工厂动力
主办单位:
中国动力工程学会热力专业委员会
中国动力工程学会工业气体专业委员会
中国机械工业动力科技情报网
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
北京市海淀区万寿路27号中国电子工程设计
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
998
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9
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