现代工业实践硬PVD和PA—CVD涂层中的关键问题

• 作者: 蒋永鹏
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: PVD PA-CVD 涂层 标准化 摩擦 磨损 等离子体
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 64-73
• 页数: 10页
• 分类号: TG174.442

摘要

本文论述了硬涂层中众多问题的几个关键问题。这些问题是：（１）质量保证的标准化技术的局长 以及如何充分利用实验室试验来支持这些技术，作为一个例子，讨论了摩擦磨损试验，（２）在降低冷却／润滑条件下为干加工和／或制造发展专用涂层的重要性。（３）等离子体诊断在涂层发展中的作用。（４）ＶＣＤ金钢石涂层中与附着力的薄膜结构有关的工艺控制问题。