使用先进的控制电弧和组合电弧／不平衡磁控管（ABS^TM）沉积技术的？…

• 作者: 思虹
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧蒸发 涂层 磁控管溅射 摩擦涂层 PVD ABS
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.442

摘要

就工业涂镀系统ＨＴＣ－１０００－ＭＫＩ而言，组合的电弧／不平衡磁控管（ＡＢＳ＾ＴＭ）的ＰＶＤ硬涂层技术用于硬涂布市场已有五年了，除了有改进的ＨＴＣ－１０００－ＡＢＳ－ＭＫⅡ型外，目前使用的是ＨＴＣ－１５００－ＡＢＳ，其生产能力是原型的４倍。