非晶态Se及掺杂Sb的Se薄膜晶化特性研究

• 作者: 叶水驰 蓝慕杰 鲍海飞
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Se薄膜 掺杂Sb的Se薄膜 晶化 微裂纹
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: O7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1998.01.015

摘要

利用光学显微镜和X射线衍射技术,分析了非晶态Se和掺杂Sb的Se薄膜的晶化特性.Se薄膜由于保存周期不同以及Sb掺杂到Se中的Sb含量的多少都会影响Se的晶化特性;在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长.分析了晶化过程中微裂纹的产生,晶界的产生和体积收缩.薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶水驰	哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系	8	12	3.0	3.0
2	蓝慕杰	哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系	3	17	3.0	3.0
3	鲍海飞	哈尔滨工业大学航天电子与光电工程系	3	10	3.0	3.0