In-As-Sb-C-H五元系热力学分析与In(As,Sb) MOVPE工艺设计

• 作者: 张维敬 李长荣 李静波 杜振民
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 化学
• 关键词: 热力学分析 MOVPE In As Sb C H
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 216-218
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.1998.03.014

摘要

本文模拟MOVPE工艺设定热力学条件, 建立了涉及5个相和54个气相物种的In-As-Sb-C-H五元系热力学系统. 采用先进的热力学计算方法, 对该系统进行了热力学分析. 计算结果与实验结果比较发现, 热力学计算能较好地预测系统相关系及半导体相成分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜振民	北京科技大学材料科学与工程系	25	86	5.0	7.0
2	李长荣	北京科技大学材料科学与工程系	87	551	12.0	16.0
3	张维敬	北京科技大学材料科学与工程系	7	9	1.0	3.0
4	李静波	北京科技大学材料科学与工程系	3	0	0.0	0.0