等离子体技术在微细加工中的应用

• 作者: 刘艳红
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体技术 微细加工技术 应用
• 年，卷（期）: bdtzz_1998,（4）
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: TN136.05

摘要

简要介绍了等离子体和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面－－微车图形加工、离子注入、薄膜沉积－－中的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘艳红	大连理工大学物理系	14	73	6.0	8.0