利用MEMS研制微型气流传感器的特性研究

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅微机械加工 气流传感器 多晶硅电阻特性分析
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文

摘要

该文在介绍采用硅微电子机械加工系统制造硅微型气流传感器的结构和工作原理的基础上,对其测试结果和多晶硅电阻特性进行了分析