硅微声压传感器

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式 压阻式 空气间隙 前置放大器 微声 弹性膜片 场效应晶体管 应变电阻 传感器技术 频率响应
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 56-62
• 页数: 7页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文

摘要

随着传感器技术和硅微机械加工技术的发展,唤起了对制造微小型麦克风、拾音器等微声压传感器的兴趣.人们将这些技术和古典的转换原理结合起来,研究了基于电压、压阻、场