用于软X射线显微术的氮化硅窗口的研制

• 作者: 付绍军 单晓斌 徐向东 洪义麟 蒋诗平 陶晓明 霍同林
• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 软X射线显微术 同步辐射 氮化硅窗口
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 151-154
• 页数: 4页
• 分类号: TB7
• 字数: 1956字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.02.012

摘要

氮化硅膜具有对软X射线吸收较小、成膜光滑、强度大和致密性好等优点,因而常选作为窗口材料.本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺,给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
4	霍同林	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	33	178	9.0	12.0
5	陶晓明	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	9	102	5.0	9.0
6	单晓斌	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	8	32	4.0	5.0
7	蒋诗平	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	248	9.0	12.0