微波等离子体增强化学汽相沉积法生长含硅的氮化碳薄膜

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篇名	微波等离子体增强化学汽相沉积法生长含硅的氮化碳薄膜
来源期刊	稀有金属	学科
关键词
年，卷（期）	1998,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围
页数		分类号
字数		语种	中文
DOI