杂质分布对多晶硅薄膜电性能的影响

• 作者: 刘雅言 王岚
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅薄膜 杂质分布 剖面分析 电阻率
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 216-219
• 页数: 4页
• 分类号: TB4
• 字数: 1680字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.03.009

摘要

报道了多晶硅薄膜的制备方法及光生载流子在多晶硅晶界区域的收集、复合情况,并采用剖面分析方法研究了杂质的分布对多晶硅薄膜太阳电池电性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王岚	中国科学院长春应用化学研究所	53	298	10.0	16.0
2	刘雅言	中国科学院长春应用化学研究所	5	49	3.0	5.0