真空漏孔的校准方法

• 作者: 孟扬 李旺奎
• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 漏孔 校准 测量
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 135-141
• 页数: 7页
• 分类号: TB7
• 字数: 4170字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.02.009

摘要

在检漏工作中,要定量地确定被检漏孔的漏率,需要将漏率的量值从气体微流量标准或漏率标准正确地传递到质谱检漏仪.在这个传递过程中,对参考漏孔的校准是一个很重要的环节.以国内外有关的标准和文献为基础,对真空漏孔的常用校准方法--定容变压法、恒压变容法、变容变压法和比较法分别给予分析和介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李旺奎		2	9	1.0	2.0
2	孟扬		2	9	1.0	2.0