硅片的直接键合

• 作者: 刘安生 周旗钢 屠海令 张椿 朱悟新 王敬
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 硅片键合 直接键合
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 380-384
• 页数: 5页
• 分类号: TG146
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.1998.05.013

摘要

介绍了硅片的直接键合工艺、键合机理、键合质量评价方法以及键合技术目前的研究和应用状况等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屠海令		42	224	8.0	12.0
2	刘安生		30	133	6.0	10.0
3	周旗钢		35	176	8.0	12.0
4	王敬		16	83	5.0	8.0
5	朱悟新		2	9	2.0	2.0
6	张椿		2	9	2.0	2.0