离子束溅射作用下聚四氟乙烯薄膜的制备方法

• 作者: 何建立 李恒德 李文治 王立铎 王英华 贺小明
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 聚四氟乙烯薄膜 离子束溅射沉积 X射线光电子能谱 傅立叶变换红外光谱
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 224-226
• 页数: 3页
• 分类号: TB4
• 字数: 1944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.03.011

摘要

在多功能离子束辅助沉积装置上采用交替溅射和冷却聚四氟乙烯靶材的方法制备了薄膜.由XPS的结果可知,所得薄膜主要由CF2结构组成;FT-IR的结果表明,所得薄膜由C-F的最强吸收峰和聚四氟乙烯的特征吸收峰构成.所得薄膜的这些结构特征与聚四氟乙烯的结构是一致的.试验结果表明,用这种离子束溅射沉积方法可以获得聚四氟乙烯薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李恒德	清华大学材料科学与工程系	18	986	12.0	18.0
2	王英华	清华大学材料科学与工程系	4	94	3.0	4.0
3	李文治	清华大学材料科学与工程系	9	150	6.0	9.0
4	王立铎	清华大学材料科学与工程系	18	174	7.0	13.0
5	贺小明	清华大学材料科学与工程系	3	0	0.0	0.0
6	何建立	清华大学材料科学与工程系	1	0	0.0	0.0