用光反射测试方法检测的硅抛光片和外延片表面的图谱

• 来源期刊: 南开大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 缺陷 表面质量 光反射方法
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 页码范围: 92-94
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文

摘要

利用检测半导体硅抛光片及硅外延片表面缺陷的光反射法(魔镜法)［1］,观测到了二十余种硅抛光片及硅外延片表面缺陷的图样.该文报道了部份图样.