si超微粒子室温可见发光器件

• 来源期刊: 长春光学精密机械学院学报：科技信息版
• 学科: 工学
• 关键词: si超微粒子 发光器件 室温 激活区 热氧化 发光强度
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 分类号: TN383

摘要

日本松下技术研究公司研制出把si超微粒子作为激活区的室温可见发光器件。在真空稀有气体中进行以单晶si为靶的脉冲激光沉积，在基板上以层状沉积气相生长的si超微粒子，然后进行热氧化，形成被表面氧化膜所覆盖的Si超微粒子聚合体。