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文献信息
| 篇名 | 高耐热,低介电常数CF膜 | ||
| 来源期刊 | 电子材料快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 介电常数 CF膜 集成电路 逻辑电路 布线层 延迟 | ||
| 年，卷（期） | dzclkb,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 2-3 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN405.97 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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介电常数
CF膜
集成电路
逻辑电路
布线层
延迟
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子材料快报
主办单位：
天津电子材料研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
576
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