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德开发准分子激光退火技术
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文献信息
| 篇名 | 德开发准分子激光退火技术 | ||
| 来源期刊 | 长春光学精密机械学院学报：科技信息版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 德国 准分子激光退火技术 薄膜晶体管退火 输出功率 脉冲能量 | ||
| 年，卷（期） | 1998,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 25 | |
| 页数 | 1页 | 分类号 | TN32 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
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德国
准分子激光退火技术
薄膜晶体管退火
输出功率
脉冲能量
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