计量圆光栅的刻划区偏心

• 作者: 李桂霞
• 来源期刊: 工厂计量与检测
• 学科: 工学
• 关键词: 圆光栅 刻划区 偏心 光刻
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 页码范围: 4-5
• 页数: 2页
• 分类号: TN305.7

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李桂霞	中国科学院长春光机所16室	1	0	0.0	0.0