楔形发射体真空微三极管性能的有限元分析

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子学 真空微三极管 楔形发射体 有限元法
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 页码范围: 350-354
• 页数: 5页
• 分类号: TN112
• 语种: 中文

摘要

楔形发射体的有效发射面积较大,能够承受较大的发射电流,并产生较高的跨导,因而更适用于大功率微波放大器.用有限元法对器件的性能进行了分析,计算出了器件内部电场和电势分布,用Fowler-Nordheim公式计算出了场致发射电流,得到了楔形发射体真空微三极管的电流发射特性,所得结果对器件的设计和制造有重要的参考价值.