钝化玻璃烧成过程中气氛控制的作用

• 作者: 韩文爵
• 来源期刊: 玻璃与搪瓷
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃 烧成 气氛控制 钝化玻璃 半导体 熔制
• 年，卷（期）: bltcyyj_1998,（6）
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171.62

摘要

１引言半导体用钝化玻璃由于其高温稳定性好，抗沾污能力和抗辐射能力强，并且带有适当的正负电荷，能够控制半导体表面的电荷状态，越来越广泛应用在各种功率半导体器件上。人们已对玻璃钝化技术做了许多研究，但是目前还未能深入地研究钝化玻璃烧成的全过程。本文要阐述...

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1	韩文爵		2	0	0.0	0.0