LSI薄膜台阶测量仪的研制

• 作者: 周兆英 李庆祥 王云庆 薛实福
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 台阶测量 触针 片簧支承 模糊控制
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 268-273
• 分类号: TH7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.1998.03.009

摘要

本文介绍了一台实用化的用于LSI薄膜台阶在线检测的台阶测量仪,它采用精密机械--LVDT--信号处理--计算机控制的方案.使用方便,实现了台阶的自动测量.实验表明:仪器重复测量精度可达±0.0147μm,很好地满足了LSI生产线上的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	李庆祥	清华大学精密仪器与机械学系	84	2180	20.0	45.0
3	王云庆	清华大学精密仪器与机械学系	4	27	2.0	4.0
4	薛实福	清华大学精密仪器与机械学系	8	44	4.0	6.0