CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究

• 作者: 侯立 刘尔凯 潘永东 钱梦騄
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石膜 压电薄膜 激光超声 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 132-136
• 页数: 5页
• 分类号: O7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.006

摘要

本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钱梦騄	同济大学声学研究所	55	708	11.0	25.0
2	潘永东	同济大学声学研究所	29	84	5.0	7.0
3	侯立		1	4	1.0	1.0
4	刘尔凯		1	4	1.0	1.0