电子束中BOERSCH效应的实验研究

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 物理学
• 关键词: BOERSCH效应 层流电子枪 能量分析器 空间电荷效应
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 页码范围: 364-368
• 页数: 5页
• 分类号: O462
• 语种: 中文

摘要

在现代电子光学与电子束技术研究中,Boersch效应作为离散空间电荷效应的一个主要特征,越来越引起了人们的重视.本实验设计并制作了一台观察和测量Boersch效应的实验装置,并进行了动态真空实验.实验装置的电子光学系统包括层流电子枪、聚焦透镜、准直透镜和拒斥场分析器等部分.对实验结果及数据进行了处理和分析,观测到了电子能量分布的反常增宽现象并测量了能量分布曲线.当束腰区束流为微安量级时,测得的电子能量分布宽度为1~3eV,并且得出了随着束流强度的增加能量分布展宽的近似规律.