金刚石薄膜低压气相生长条件的理论预测

• 作者: 万永中 刘志杰 张卫 王季陶
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 相图 化学气相淀积 生长条件
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 109-113
• 分类号: O7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.001

摘要

基于非平衡热力学耦合模型计算得到三元体系中生长金刚石的等温、等压及竖直截面相图.这些相图中的金刚石生长区的形状和大小随温度、压力及氧含量等条件的改变而变化.高温时,金刚石生长区变小直至消失;中等温度时生长区最大;低温时又变小.压力的升高促使金刚石生长区变大.氧的加入总是引起需要更多的碳并使金刚石生长区向温度降低的方向移动.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王季陶	复旦大学电子工程系	24	155	7.0	11.0
2	张卫	复旦大学电子工程系	43	271	10.0	14.0
3	万永中	复旦大学电子工程系	2	9	2.0	2.0
4	刘志杰	复旦大学电子工程系	2	9	2.0	2.0