正压漏孔的校准方法

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 正压漏孔 校准 测量
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 页码范围: 444-449
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文

摘要

随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用,在有些应用领域中,对正压检漏法的定量性提出了更高的要求.解决正压检漏定量性问题的关键之一,就是要精确地校准正压漏孔.校准正压漏孔的主要方法有:恒压变容法、定容变压法、变容变压法、动态比较法和理论推算法.这些方法既有各自的优点,也存在各自的不足.在实验研究的基础上,对以上各种方法的适用性、局限性、误差分析和尚需解决的问题作一探讨和评价.