射频等离子体放电的宏观参数与PET表面改性的关系

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 化学
• 关键词: 射频等离子体 沉积速率 聚合 刻蚀
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 页码范围: 373-376
• 页数: 4页
• 分类号: O646
• 语种: 中文

摘要

通过射频等离子体放电,采用O2,CF4及CH4/CF4混合气体等离子体对PET表面进行处理.改变射频等离子体放电的宏观参数,如放电时间、放电功率、电极间距离和复合参数,详细地研究了这些参数对PET表面改性的影响.结果表明:碳氟混合气体等离子体在PET表面的沉积速率为正值,在PET表面形成了聚合物;而O2和纯CF4气体的沉积速率为负值,两者在PET表面产生刻蚀效应.增加等离子体放电功率和放电时间,聚合或刻蚀效果更明显;而增加电极间距离和复合参数,聚合或刻蚀效果明显减弱.