ECR微波等离子体特性的实验研究

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子回旋共振 等离子体诊断 微波 波导
• 年，卷（期）: 1998,（5）
• 页码范围: 390-394
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

着重介绍采用一段真空波导耦合的ECR微波等离子体装置,以及在CH4－H2混合气体放电情况下,诊断了内部等离子体参数,给出了等离子体密度、电子温度、基板鞘附近的空间电位以及在类金刚石膜合成条件下等离子体中的基团情况,同时研究了它们与工艺参数之间的关系.