TC4钛合金上离子束辅助沉积TIC_XN_Y膜的微结构与机械性质研究

• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束辅助沉积 氮碳化钛 摩擦 磨损
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 页码范围: 454-458
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

利用离子束辅助沉积技术在Tc4钛合金基体上制备了TiCxNy膜.TEM观察揭示膜呈多晶结构,具有(111),(200)和(220)择优取向,AES和XPS分析进一步证实TiCxNy膜呈含氧配置.膜的硬度和摩擦特性与N含量有关,N的含量过高,其硬度与摩擦特性均会下降.在本实验条件下,N离子束的最佳辅助剂量为3*10(17)ions/cm2.干摩擦表明膜的抗氧化性能优良,其存在能有效抑制基体在摩擦过程中形成氧化层.又因腹的硬度高,润滑住良好,显著地改善了基体的磨损特性,特别是粘着磨损特性.