非晶多晶薄膜结构快速能量过滤径向分布函数分析

• 作者: 刘震云 张寿柏 戎咏华 王永瑞 赵小林
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 3-4
• 页数: 2页
• 分类号: O7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.1998.01.002

摘要

介绍研究薄膜结构的新方法-能量过滤电子衍射法.该方法借助透射电镜样品后扫描,使薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光阑,检测弹性散射电子强度与散射矢量关系,然后由径向分布函数理论,导出薄膜材料的最近邻原子间距和配位数等与结构有关的信息.通过多晶金薄膜和非晶钛铝薄膜的测试,获得满意结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戎咏华	上海交通大学材料科学系	80	533	12.0	20.0
2	赵小林		56	549	13.0	20.0
3	王永瑞	上海交通大学材料科学系	12	105	6.0	10.0
7	张寿柏		2	1	1.0	1.0
8	刘震云		5	84	3.0	5.0