“JYJ-J型激光平面度仪”光电瞄准精度

• 作者: 李健 魏作龙
• 来源期刊: 质量天地
• 学科: 经济
• 关键词: 激光平面 光电瞄准 平面度误差 平面度测量 方法误差 激光束 测量误差 原始数据 光强变化 自动跟踪
• 年，卷（期）: zltd_1998,（S1）
• 页码范围: 52-52
• 页数: 1页
• 分类号: F203

摘要

【正】“JPJ—J型激光平面度仪”是新型的平面度测量仪,是用一个在空间自动安平的“激光平面”做为被测平面的“过度基准平面”,通过放置在被测平面的“光电测头”自动跟踪光束的过程,测得其平面度误差的原始数据。该值的数字形式显示,用电信号输入计算机,由专用程序直接算出被测平面的平面度误差,其对2M×2M平板平面度测量方法误差≤±2.5um,具体分析如下:

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健		62	80	4.0	4.0
2	魏作龙		2	0	0.0	0.0