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摘要:
对磁控射频溅射法制备的AG5IN5TE47SB33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性质的变化进行了研究.沉积态薄膜为非日 态,其晶化温度为160℃.
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Ge2Sb2Te5薄膜
射频磁控溅射
相变
光学特性
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关键词热度
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文献信息
篇名 高反射率Ag5In5Te47Sb33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性?…
来源期刊 科学通报 学科 物理学
关键词 非晶态合金 热致晶化 微观结构 光学性质 薄膜
年,卷(期) 1998,(16) 所属期刊栏目
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页数 1页 分类号 O484.1|O484.41
字数 语种 中文
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0023-074X
11-1784/N
大16开
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1950
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