利用原子力显微镜在AU-PD合金膜上制备纳米结构

• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 工学
• 关键词: AU-PD合金膜 原子力显微镜 纳米加工 机械刻蚀
• 年，卷（期）: 1998,（18）
• 页码范围: 1950-1953
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文

摘要

利用自行开发的SPM刻蚀系统在Au Pd合金膜上成功地机械刻划出纳米尺度的孔洞、沟槽和复杂的图形 ,最小线宽达 2 5nm .该系统可以很方便地用来加工所需要的任意纳米图形 ,并且AFM图象表明机械刻划出来的纳米结构非常清晰 ,真实地反映出待刻图形的细节而没有变形 ,这说明该刻蚀系统具较高的可靠性和可控性 .同时 ,实验结果表明我们制得的Au Pd合金膜非常平整并具备优良的机械刻划性能 ,它可以被用作为制备纳米器件的掩膜或直接用于纳米结构的制备 .