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软X射线多层膜技术
软X射线
多层膜
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纳米多层膜
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软X射线
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磁控溅射法
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 软X射线多层膜及多层膜光栅的研究进展
来源期刊 物理 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 285
页数 1页 分类号
字数 4907字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:0379-4148.1999.05.007
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相关学者/机构
期刊影响力
物理
月刊
0379-4148
11-1957/O4
大16开
北京603信箱
2-805
1951
chi
出版文献量(篇)
4702
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20
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