电子回旋共振放电的设计和应用

• 作者: Asmus.,J 秋笛
• 来源期刊: 国外核聚变与等离子体应用
• 学科: 物理学
• 关键词: ECR 微波放电 高密度 等离子体源 等离子体加工
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 53-78
• 页数: 26页
• 分类号: O531

摘要

在过去十年，电子回旋共振等离子体加工技术已发展了各种ＥＣＲ等离子体反应器和等离子体源设计概念，并已广泛地应用于许多低压强等离子体加工领域。本文评述近几年在ＥＣＲ等离子体技术的设计和应用方面所取得的重大进展。详细地介绍从４５０ｃｍ＾２在大嗾电到装入分子束外延装置的五种有代表性的ＥＣＲ反应器／源的设计。