9Cr18钢上离子束辅助沉积TiCxNy膜的研究

• 作者: 刘仲阳 孙官清 廖小东 王培录 郑思孝
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束辅助沉积 氮碳化钛 摩擦 粘着磨损 磨粒磨损
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.1999.01.002

摘要

用离子束辅助沉积技术在9Cr18钢基体上形成了TiCxNy膜.TEM观察膜呈多晶结构,具有(111)、(200)和(220)择优取向.AES和XPS分析进一步证实,TiCxNy膜呈含氧配置.膜的硬度与N含量有关,N的含量过高时硬度下降.在本实验条件下以离子注量为3×1017/cm2时硬度最高,干摩擦表明膜的抗氧化性能优良,它的存在能有效抑制基体在摩擦过程中氧化皮的形成,显著改善基体的磨损特性,并能使基体由粘着磨损向磨粒磨损转化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王培录	四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理与技术国家教委开放实验室	1	4	1.0	1.0
2	孙官清	四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理与技术国家教委开放实验室	1	4	1.0	1.0
3	刘仲阳	四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理与技术国家教委开放实验室	1	4	1.0	1.0
4	郑思孝	四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理与技术国家教委开放实验室	1	4	1.0	1.0
5	廖小东	四川联合大学原子核科学技术研究所辐射物理与技术国家教委开放实验室	1	4	1.0	1.0