ITO薄膜的气敏特性

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 胶体法 气敏特性 掺杂
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

该文研究了用胶体法制备的ITO薄膜的气敏特性;并同时研究了各种掺杂杂质对ITO薄膜的气敏特性的影响.通过实验发现ITO薄膜对乙醇气体具有最高的灵敏度,对二氧化氮等也有较好的敏感特性,一般催化剂型掺杂物如资金属等掺杂对提高ITO薄膜的灵敏度没有多大帮助.ITO薄膜与 SNO_2薄膜相比具有更高的稳定性.ITO薄膜的气敏特性既具有表面控制型的特征,又具有体效应气敏材料的敏感特性.