高场强下铝阳极氧化膜中相关元素的分布及其介电性能

• 作者: 孙海君 徐友龙 曹婉真 袁战恒
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铝阳极氧化膜 相关元素分布 介电性能
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 11-12
• 页数: 2页
• 分类号: TN604|TM535
• 字数: 2504字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.1999.04.005

摘要

利用俄歇电子能谱仪(AES)分析了高场强下不同条件形成的阳极氧化膜中相关元素的分布,分析表明膜中不同程度存在B、C、P等相关元素.测试其相应的介电性能,表明氧铝比R(O∶Al)接近于1.5时其介电性能较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁战恒		17	38	4.0	5.0
2	孙海君		2	3	1.0	1.0
3	徐友龙		47	499	14.0	21.0
4	曹婉真		12	75	2.0	8.0