时间周期性表面形变的光学测量

• 作者: Cywiak,M 刘大洲
• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 光学传感器 光学转换器 激光探头 表面周期形变 光学测量
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.3

摘要

我们以辐照分布的形式测量了小面积形变（＜1/100μm），对外差干涉技术进行了讨论。该项技术采用了相衬进一步量度学原理。为了在实验中对所提出的这种方法加以验证，我们在一种产生表面形变的类反射镜式的薄物体诱导出了周期声波。