伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计

• 作者: 张彪 张芳 王岳环 罗敢
• 来源期刊: 新电脑
• 关键词: 音圈电机 光刻机 氟塑料套筒 滚珠导套
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 技术专栏
• 页码范围: 23-27
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

本文以作者对光刻机刻蚀光头调焦音圈电机的设计的实际经验为例,阐述了两种音圈电机结构的设计原则.并对这两种音圈电机的性能进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张芳		21	129	6.0	11.0
2	王岳环		35	270	9.0	15.0
3	张彪		7	28	3.0	5.0
4	罗敢		3	1	1.0	1.0