准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究

• 作者: 姚劲松 梁静秋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光 直接刻蚀 微机械零件
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 63-66
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1761字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.05.010

摘要

准分子激光刻蚀技术在微机械领域有着十分广泛的应用前景,用该技术制作的聚合物微结构深宽比大、精度高,并且工艺简单.我们分析了准分子激光刻蚀原理,探索了这种技术的工艺方法和技术条件,特别对掩膜的结构和制作工艺进行了较为深入的研究.本文采用简易的实验装置,用自行研制的三种结构掩膜进行了准分子激光刻蚀实验,得到了50μm深的聚合物材料微机械构件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚劲松	中国科学院长春光学精密机械研究所	14	176	9.0	13.0
2	梁静秋	中国科学院长春光学精密机械研究所	66	389	11.0	17.0