测辐射热计红外焦平面列阵

• 作者: 杨亚生
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测辐射热计 桥式结构 热阻 噪声等效温差
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 3778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.1999.02.002

摘要

非制冷测辐射热计红外焦平面列阵设计为桥式结构,器件制作采用微机械加工技术.工作波段为8～12μm,热阻达107K/W量级,噪声等效温差为0.1K.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨亚生		5	28	2.0	5.0