薄膜厚度在线测量技术的研究

• 作者: 尚丽平
• 来源期刊: 电子与仪表
• 学科: 物理学
• 关键词: 振荡频率 薄膜 石英晶体 厚度测量 在线测量
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 11
• 页数: 1页
• 分类号: O484.5

摘要

本文分析了几种薄膜厚度的测量方法，阐述了利用石英的晶体振荡频率与晶体厚度间的关系在线测量薄膜厚度的方法，并介绍了测量系统的组成情况。