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摘要:
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磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用
磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
金刚石薄膜的研究进展
金刚石薄膜
合成方法
成核机理
影响因素
应用领域
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 类金刚石薄膜的过滤式阴极电弧沉积实验研究
来源期刊 东南大学学报(英文版) 学科
关键词
年,卷(期) 1999,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围
页数 分类号
字数 语种 英文
DOI 10.3969/j.issn.1003-7985.1999.01.007
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相关学者/机构
期刊影响力
东南大学学报(英文版)
季刊
1003-7985
32-1325/N
大16开
南京四牌楼2号
1984
eng
出版文献量(篇)
2004
总下载数(次)
1
总被引数(次)
8843
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