ZNO系薄膜对NO_X气体的气敏光透射特性

• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: ZNO系气敏薄膜 NO_X气体 光透射
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 页码范围: 123-126
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌(ZNO)薄膜和掺AG、掺PT与掺PD的 ZNO三种气敏光学薄膜.测量了这些薄膜在 NO_X气体中的透射光谱,然后由透射光谱获得了灵敏度的变化规律,并用吸附平衡关系式解释了气敏光透射特性,最终优化得到一种对 NO_X气体灵敏度高的掺AG氧化锌薄膜.