基于白光的双波长相移干涉的误差分析

• 作者: 周明宝 林大键 郭履容 郭永康
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 相移干涉 表面形貌 测量 测量精度
• 年，卷（期）: 1999,（5）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 106-113
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1
• 字数: 5377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.1999.05.018

摘要

概略介绍了基于白光的双波长相移干涉表面形貌测量系统的原理,具体分析了影响测量精度的各种误差因素,给出了相应的误差计算公式和计算结果,并用模拟测量结果和实际测量结果进行了验证和比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林大键	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	164	5.0	7.0
2	周明宝	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	159	5.0	7.0
3	郭履容	四川联合大学物理系	3	118	2.0	3.0
4	郭永康	四川联合大学物理系	3	118	2.0	3.0