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CZ生长Si单晶中石墨件对径向杂质分布的影响
CZ生长Si单晶中石墨件对径向杂质分布的影响
作者:
徐玉忠
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CZ生长
硅
单晶
石墨
径向杂质分布
摘要:
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篇名
CZ生长Si单晶中石墨件对径向杂质分布的影响
来源期刊
电子材料快报
学科
工学
关键词
CZ生长
硅
单晶
石墨
径向杂质分布
年,卷(期)
1999,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
14-15
页数
2页
分类号
TN304.12
字数
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硅
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径向杂质分布
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天津电子材料研究所
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月刊
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CN:
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出版地:
天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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创刊时间:
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576
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