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PAN预氧纤维径向结构分布特征对石墨纤维的影响
预氧纤维
石墨纤维
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等温结晶
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自截止腐蚀制备Si平面薄膜中的B杂质分析
Si平面薄膜
重掺杂
自截止腐蚀
杂质分布
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 CZ生长Si单晶中石墨件对径向杂质分布的影响
来源期刊 电子材料快报 学科 工学
关键词 CZ生长 单晶 石墨 径向杂质分布
年,卷(期) 1999,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 14-15
页数 2页 分类号 TN304.12
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节点文献
CZ生长
单晶
石墨
径向杂质分布
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天津(南)科研西路20号(天津55信箱)
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