F-P干涉仪在长度测量领域的应用

• 作者: 李达成 程晓辉 赵洋
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: F-P干涉仪 稳频 光学倍程 纳米测量 多光束干涉
• 年，卷（期）: 1999,（3）
• 所属期刊栏目: 综述、评述
• 页码范围: 134-137
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 3214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.1999.03.001

摘要

F-P标准具和干涉仪利用多光束干涉的原理,产生极锐的干涉条纹并且谐振频率对F-P腔长的变化非常敏感,根据这些特点,从利用F-P干涉仪进行激光器的频率锁定、稳频,光学倍程精密定位和纳米测量三个角度综述了在长度测量领域F-P干涉仪的发展情况;在分析主要存在的问题和解决方法的基础上,讨论了F-P干涉仪的发展方向,并指出在纳米测量中F-P干涉仪将起到越来越重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李达成	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	43	658	15.0	24.0
2	赵洋	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	21	350	10.0	18.0
3	程晓辉	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	456	12.0	21.0